[29a-B9-1~12] 8.1 プラズマ生成･制御

[29a-B9-12] RFマグネトロンスパッタにおける負のDCカソードバイアス印加の効果 (12:00 PM ～ 12:15 AM)

^○大須賀康平¹，山田利宜²，進藤春雄²，磯村雅夫^1,2 (東海大工¹，東海大院工²)

キーワード：plasma