[29a-D3-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[29a-D3-2] スパッタ法(K,Na)NbO3薄膜の自発分極制御による低誘電率膜の実現 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○柴田憲治，末永和史，渡辺和俊，堀切文正，野口将希 (日立電線)

キーワード：(K,Na)NbO3、薄膜、圧電