[29a-F2-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[29a-F2-8] △軟X線照射によるTiO₂薄膜のエッチングダメージの回復Ⅰ (12:00 PM ～ 12:15 AM)

^○佐野桂治¹，新部正人¹，小高拓也¹，川上烈生²，富永喜久雄²，中野由崇³ (兵庫県立大高度研¹，徳島大工²，中部大総工研³)

キーワード：酸化チタン、XAS、エッチング