[29a-F2-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[29a-F2-9] 軟Ｘ線照射によるTiO2薄膜のエッチングダメージの回復II (12:15 PM ～ 12:30 AM)

^○新部正人¹，佐野桂治¹，小高拓也¹，川上烈生²，富永喜久雄²，中野由崇³ (兵庫県大高度研¹，徳島大院工²，中部大総工研³)

キーワード：酸化チタン、NEXAFS、エッチングダメージ