[29a-G19-1~10] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29a-G19-1] ジエチル亜鉛を原料に用いたスプレー法による不純物添加酸化亜鉛薄膜のアニール効果 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○井手亜貴子¹，長野文子¹，小嶋稔¹，吉野賢二^1,3，竹元裕仁²，豊田浩司²，稲葉孝一郎²，羽賀健一²，中俊雄²，徳留功一² (宮崎大工¹，東ソー・ファインケム²，JST-CREST³)

キーワード：ZnO、透明導電膜、スプレー