[29a-G19-1~10] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29a-G19-5] H₂導入RFスパッタにおける低抵抗AZO薄膜物性への影響 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○田中真樹^1,2，吉野賢二^2,3 (宇部マテリアルズ¹，宮崎大工²，JST-CREST³)

キーワード：亜鉛、スパッタ