[29a-G19-1~10] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29a-G19-7] Ga 添加酸化亜鉛透明導電膜の耐湿熱特性制御 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○山本哲也¹，宋華平¹，牧野久雄¹，長田実²，岸本誠一^1,3 (高知工科大総研¹，物材機構MANA²，高知高専³)

キーワード：酸化亜鉛、ガリウム、 耐湿熱性