[29a-G19-1~10] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[29a-G19-8] 有機金属塗布熱分解法によるSb添加SnO₂薄膜の導電性評価 (12:00 PM ～ 12:15 AM)

^○（M1）景山豪¹，吉岡秀樹²，山本伸一¹ (龍谷大院理工¹，兵庫工技セ²)

キーワード：透明導電膜、酸化スズ、SnO2