[29a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[29a-G21-11] GaNの水素雰囲気異方性熱エッチング特性の評価 (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○蜂屋大樹，菊池昭彦 (上智大)

キーワード：GaN