2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[29a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:00 G21 (B5号館 4F-2405)

[29a-G21-2] AlN/BN/AlNダブルヘテロ構造上のGaN薄膜のMOVPE成長 (9:15 AM ~ 9:30 AM)

小林康之,熊倉一英,赤坂哲也,山本秀樹,牧本俊樹 (NTT物性基礎研)

キーワード:窒化ホウ素、MOVPE、窒化ガリウム