[29a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[29a-G21-7] △SiドープAlNのMOVPE成長における転位密度の影響 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○西尾剛，三宅秀人，平松和政 (三重大)

キーワード：MOVPE、AlN、Doping