[29a-G6-1~12] 13.1 基礎物性・評価

[29a-G6-11] ▲Edge Enhancement of Photo-Current in Si Stripes Measured by Multimode SPM (11:45 AM ～ 12:00 AM)

^○Leonid Bolotov^1,2，Vladimir Poborchii²，多田哲也²，金山敏彦² (筑波大物理工¹，産総所²)

キーワード：フォトキャリヤー、半導体、ﾌﾟﾛｰﾌﾞ顕微鏡