[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29a-G7-1] NOx(x=1 or 2) / F2 混合ガスの高温下Si ケミカルドライエッチング (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○田嶋聡美，林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名大院工プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：Si エッチング、ケミカルドライエッチング、温度依存