[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29a-G7-2] 耐熱マスクを用いた熱電厚膜のリフト･オフパターニング (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○溝尻瑞枝，三上祐史，尾崎公洋 (産総研)

キーワード：厚膜、熱電膜、厚膜パターニング