[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29a-G7-7] プラズモニック吸収体による波長選択型非冷却赤外線センサ-表面格子形状の検討- (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○高川陽輔¹，菰田潤哉¹，増田恭平¹，坂田浩太朗¹，小川新平²，木股雅章¹ (立命館大¹，三菱電機²)

キーワード：赤外線センサ、プラズモニック、表面格子形状