[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29a-G7-9] PZT薄膜を用いたMEMS超音波探触子の特性評価と画像描出 (11:15 AM ～ 11:30 AM)

^○和田隆亜¹，山本勝也¹，向山明博²，藤井隆満² (富士フイルム医療開発¹，富士フイルムIJ研究²)

キーワード：超音波探触子、MEMS、PZT薄膜