[29a-PB7-1~21] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[29a-PB7-15] ウェハ曲率のその場測定によるレーザ用InGaAs メタモルフィックバッファ層の最適化手法の提案 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○中尾亮，荒井昌和，伊賀龍三，神徳正樹 (NTTフォトニクス研)

キーワード：メタモルフィック