[29p-A3-1~6] 16.2 プロセス技術・デバイス

[29p-A3-2] 固相成長により結晶Si上に成長させた結晶Ge薄膜における非晶質前駆体の影響（2） (1:45 PM ～ 2:00 PM)

^○小島祐二¹，金井みくり²，山口智明²，磯村雅夫¹ (東海大工¹，東海大院工²)

キーワード：固相成長、結晶Si、非晶質Ge