[29p-A9-1~12] 9.1 誘電材料・誘電体

[29p-A9-2] △YAlO₃の点欠陥(Ⅳ)～光照射による顕在化と消滅～ (1:15 PM ～ 1:30 PM)

^○（B）井上貴博，森本貴明，山坂大樹，堀井陽介，大木義道 (早大)

キーワード：High-k、ゲート絶縁膜、YAlO3