[29p-A9-1~12] 9.1 誘電材料・誘電体

[29p-A9-3] △YAlO₃中の点欠陥(V)～熱処理の影響～ (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○（B）金子昇司，山坂大樹，堀井陽介，森本貴明，大木義路 (早大)

キーワード：High-k、ゲート絶縁膜、YAlO3