[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-1] 選択的エッジリソグラフィによるナノ,ミクロンサイズ混在パターンの作製 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○野間隼史，阪本隼志，川田博昭，安田雅昭，平井義彦 (大府大工)

キーワード：nanoimprint、edge lithgraphy、nano micron mixture patterns