[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-16] ナノインプリントにおける離型プロセスのシミュレーション解析 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○塩津隆弘^1,2，西倉直紀^1,2，安田雅昭^1,2，川田博昭^1,2，平井義彦^1,2 (大阪府立大院工¹，JST-CREST²)

キーワード：離型、応力、ロール