2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

07.ビーム応用 » 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

2013年3月29日(金) 13:30 〜 18:45 B1 (K2号館 3F-1301)

[29p-B1-18] △熱ナノインプリント技術によるAg配線パターンの形成 (6:00 PM ~ 6:15 PM)

丹保浩行1,大門貴史2,角田龍則1,横山義之1,坂井雄一1,二口友昭1 (富山県工技セ1,北陸電工2)

キーワード:ナノインプリント、ナノ粒子、パターン