[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-19] 熱ナノインプリントリソグラフィと無電解Niメッキを用いた微細金属パターン作製 (6:15 PM ～ 6:30 PM)

^○（M1）北川拓哉，川田博昭，平井義彦 (大阪府立大)

キーワード：ナノインプリント