[29p-B1-1~20] 7.4 ナノインプリント

[29p-B1-3] ガラスチップ内マイクロチェンバーの傾斜側壁の形成 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○銘苅春隆¹，奥山千枝子¹，上野昭久² (産総研¹，ナノクラフトテクノロジーズ²)

キーワード：非焦点紫外線露光、Si含有フォトレジスト、ガラス成形