[29p-B2-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[29p-B2-10] △ガスクラスターイオンビーム照射されたCoFe膜の磁気特性評価 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

^○（M1）藤本昌宏，木村旭，豊田紀章，山田公 (兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、MRAM