[29p-B2-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[29p-B2-11] △ガスクラスターイオンビームエッチング後のMRAM材料の表面状態評価 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○日野浦諒¹，山口明良¹，豊田紀章¹，原謙一²，山田公¹ (兵庫県大工¹，東京エレクトロン²)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム