[29p-B2-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[29p-B2-13] ClF₃中性クラスタービームによる反応性エッチングの高速化 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○瀬木利夫¹，吉野裕²，妹尾武彦²，小池国彦²，青木学聡¹，松尾二郎¹ (京大院工¹，岩谷産業²)

キーワード：クラスター