[29p-B2-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[29p-B2-16] △イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○（D）鈴木雅視，柳谷隆彦 (名工大)

キーワード：c軸平行極性反転AlN多層膜、イオンビームアシスト成膜法