[29p-B4-1~15] 5.1 半導体レーザー・発光/受光素子

[29p-B4-6] △半導体薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○井上大輔¹，李智恩¹，進藤隆彦²，二見充輝¹，土居恭平¹，雨宮智宏²，西山伸彦¹，荒井滋久^1,2 (東工大電気電子工¹，東工大量子ナノ²)

キーワード：オンチップ光インターコネクション、Butt-Joint 再成長、有機金属気相成長