[29p-F2-1~19] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[29p-F2-1] △酸窒化インジウム(InO_xN_y)エピタキシャル薄膜の物性 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○岡崎壮平^1,2，廣瀬靖^1,2,3，中尾祥一郎^1,2，楊長^1,2,3，鈴木温^1,2,3，岡大地^1,2,3，長谷川哲也^1,2,3 (KAST¹，JST-CREST²，東大院理³)

キーワード：酸窒化物、透明導電体