[29p-G12-1~21] 17.1 成長技術

[29p-G12-18] ▼プラズマCVD法による絶縁膜基板上への大面積ナノ結晶グラフェン成長 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○Marek Schmidt¹，Cigang Xu²，Mike Cook²，水田博^1,3，Harold Chong³ (北陸先端大¹，オックスフォード²，サザンプトン大³)

キーワード：Graphene、PECVD