[29p-G12-1~21] 17.1 成長技術

[29p-G12-21] ヘリウムを用いたグラフェンプラズマCVD (6:15 PM ～ 6:30 PM)

^○津川和夫¹，加藤隆一¹，山田貴壽^1,2，長谷川雅考^1,2 (TASC¹，産総研²)

キーワード：Graphene、CVD、He