[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-10] △イオン注入により形成される空孔型欠陥に関する第一原理解析 (4:00 PM ～ 4:15 PM)

^○前田貴弘^1.2，末岡浩治¹，泉妻宏治² (岡山県大院情報系工¹，グローバルウェーハズ・ジャパン²)

キーワード：第一原理、空孔型欠陥、イオン注入