[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-12] 無転位シリコン中ニッケル原子の導入・回復過程 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

^○田中秀司，髙見成二，三苫拓也，野口康一郎 (福岡工大)

キーワード：電気的活性ニッケル原子、解離機構、空格子点の生成消滅