[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-14] Siウェーハの曲げ強度に対する表層酸素濃度の影響 (5:00 PM ～ 5:15 PM)

^○須藤治生¹，青木竜彦¹，荒木浩司¹，日高洋美¹，荒木延恵¹，泉妻宏治¹，中村芳明²，酒井朗² (グローバルウェーハズ・ジャパン¹，阪大²)

キーワード：Siウェーハ、曲げ強度、酸素濃度