[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-17] △Ge結晶中のドーパントと不純物金属原子の相互作用に関する第一原理解析 (6:00 PM ～ 6:15 PM)

^○（M1）大和龍紀¹，末岡浩治¹，前田貴弘² (岡山県立大院情報系工学研究科¹，グローバルウェーハズ・ジャパン²)

キーワード：第一原理解析、ドーパント、Ge