[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-21] プロトン照射GaNの熱刺激電流による欠陥評価 (7:00 PM ～ 7:15 PM)

^○中村司¹，伊田孝寛¹，上岡一馬¹，栗山一男¹，串田一雅² (法政大¹，大阪教育大²)

キーワード：窒化ガリウム、プロトン照射