[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-5] 3，4及び5族原子をドープしたSi結晶中の空孔形成エネルギー (2:30 PM ～ 2:45 PM)

^○末澤正志，井上海平，飯島嘉明，深田直樹，米永一郎 (東北大金研)

キーワード：空孔形成エネルギー、シリコン結晶、不純物