[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-7] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学
（5）C-rich結晶の照射と熱処理の定量的解析 (3:15 PM ～ 3:30 PM)

^○井上直久¹，後藤安則²，関洋文³，渡邉香⁴，河村裕一⁵ (東京農工大工¹，トヨタ自動車²，東レリサーチ³，システムズ・エンジニアリング⁴，大阪府立大産学官⁵)

キーワード：シリコン、粒子線照射、赤外吸収