[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-8] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学（6）ピーク吸光度1E-6への挑戦 (3:30 PM ～ 3:45 PM)

^○井上直久^1,5，関洋文²，菅谷孝夫³，嶋田茂⁴，河村裕一⁵ (東京農工大工¹，東レリサーチ²，システムズ・エンジニアリング³，ブルカー・オプティクス⁴，大阪府大産学官⁵)

キーワード：シリコン、点欠陥、赤外吸収