[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[29p-PA1-4] TEOSガスを用いて作製したSi系薄膜のPL発光強度とその組成依存性 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.3)

^○東山晃平¹，武田英里²，加藤勇³ (早大先進理工¹，早大先進理工²，早大先進理工³)

キーワード：PL、TEOS