[29p-PA2-1~10] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[29p-PA2-4] オゾン酸化を用いたAlGaN/GaNのサブnmステップバイステップエッチング (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○武井優典¹，神谷真行¹，寺山一真¹，米澤宏昭¹，筒井一生¹，角嶋邦之¹，アヘメト パールハット²，服部健雄²，岩井洋² (東工大総理工¹，東工大フロンティア研²)

キーワード：GaN、エッチング、オゾン