[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-1] 光波長検出微小機械振動子の作製と特性評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○米谷玲皇，劉琿，割澤伸一，石原直 (東大工)

キーワード：振動子