[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-2] △MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（B）井上純一¹，神田健介^1,2，斎藤誉司²，藤田孝之^1,2，前中一介^1,2 (兵庫県大工¹，JST²)

キーワード：MEMS、PZT/PZTバイモルフ、Actuator