[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29p-PA4-3] テトラ組成PZT薄膜を用いた圧電MEMS加速度センサ (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○小林健¹，鈴木靖弘²，牧本なつみ¹，前田龍太郎¹，及川貴弘³，和田亜由美³，舟窪浩³ (産総研¹，茨城大²，東工大³)

キーワード：piezoelectric MEMS