[29p-PA9-1~23] 16.3 シリコン系太陽電池

[29p-PA9-13] UV 照射によるALD-AlO_x 膜のパッシベーション特性変化 (4:00 PM ～ 6:00 PM)

酒井智香子^1,3，漆畑孝^1,3，^○三木祥平^1,3，新船幸二^1,3，堀田育志^1,3，吉田晴彦^1,3，小椋厚志^2,3，佐藤真一^1,3 (兵庫県立¹，明大²，JST-CREST³)

キーワード：パッシベーション、結晶シリコン太陽電池、酸化アルミニウム