[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-1] みなし150mmφ4H-SiC C面へのエピ膜成長 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○西尾譲司^1,2，工藤千秋^1,3，田村謙太郎^1,4，児島一聡^1,5，大野俊之^1,6 (FUPET¹，東芝　²，パナソニック³，ローム⁴，産総研⁵，日立製作所⁶)

キーワード：SiC、C面、エピタキシャル成長