[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-11] 大気圧熱プラズマジェット照射によるSiCウェハ中不純物の短時間活性化 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○芦原龍平，花房宏明，村上秀樹，林将平，小柳俊貴，丸山佳祐，東清一郎 (広大院先端研)

キーワード：SiC、TPJ、活性化