[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-20] △表面活性化ボンディング法によるSi/4H-SiC 接合のC-V 特性評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（B）西田将太¹，梁剣波¹，宮崎達也¹，森本雅史¹，重川直輝¹，新井学² (大阪市大工¹，新日本無線²)

キーワード：SiC、表面活性化ボンディング法